MC 气体标准质量流量控制器产品介绍：

  MC 气体标准质量流量控制器全球控制响应很快、很稳定的质量流量控制器，可测量并控制低至2.5微升的流量，依照用户应用需求量身定制阀门孔径以确保达到很好工作效果。

所有气体的满量程流量在0.5 SCCM和 5000 SLPM之间（ H2 为 10,000 SLPM）

监测四个变量： 质量流量、体积流量、压力和温度

控制三个变量之一：质量流量、体积流量或压力

预加载98 多种气体校准且可供用户选择

本地、模拟或数字控制，包括工业协议

技术参数：

稳态控制范围：满量程的0.01% – 100%

NIST 可追溯校准

标准精度：读数的 ±0.6% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准

高精度：读数的 ±0.5% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准

重复性：±（读数的0.1% + 满量程的0.02%）

典型控制响应时间：快至 30 ms

预热时间：<1秒

兼容气体：98+ 纯气体和混合非腐蚀性气体

工作温度：–10°C 至 +60°C

满量程工作压力：160 PSIA (11 barA)